4、集成电路制造工艺中,以下不是热氧化方法的是: 。A.干氧氧化B.湿氧氧化C.离子氧化D.水蒸汽氧化

4、集成电路制造工艺中,以下不是热氧化方法的是: 。

A.干氧氧化

B.湿氧氧化

C.离子氧化

D.水蒸汽氧化


参考答案和解析
离子氧化

相关考题:

下列不属于根据制造工艺的不同对集成电路分类的是()。 A、膜集成电路B、半导体集成电路C、混合集成电路D、模拟集成电路

集成电路制造中有哪几种常见的扩散工艺?各有什么优缺点?

在大规模集成电路的制造中,更多采用的是MOS工艺集成电路,而不是双极型集成电路。

按照制造工艺可分为半导体集成电路、薄膜集成电路和()集成电路。A、数字B、厚膜C、小规模D、专用

按制造工艺集成电路分为()。A、半导体集成电路B、TTL集成电路C、厚膜集成电路D、薄膜集成电路E、CMOS集成电路

集成电路正确的分类方法是()。A、按用途B、按功能C、按导电类型D、按制造工艺E、按集成度

集成电路按照制造工艺可分为()。A、半导体集成电路B、薄膜集成电路C、数字集成电路D、厚膜集成电路

集成电路的基本制造工艺是:首先是对圆柱形的单晶硅进行(),生产大片的(),并在其上制造出大量电路单元。

集成电路中元器件的特点是()。A、集成电路中元器件的性能比较一致,对称性好,适于作差动放大电路B、由于制造三极管比制造电阻器节省硅片,且工艺简单,故集成电路中三极管用得多,电阻用得少C、集成电路中的电容是用PN结的结电容,一般小于100PFD、集成电路中的三极管是低频小功率管E、集成电路中的二极管是高性能管

集成电路由()、()、()等组成,集中制造在一个芯片上,目前的超大规模集成电路芯片,其制造工艺已达到()微米级程度。

填空题列出热氧化物在硅片制造的4种用途()、()、场氧化层和()。

判断题在常规热氧化工艺中干氧氧化的速度最快。A对B错

问答题集成电路主要有哪些基本制造工艺?

填空题常规集成电路平面制造工艺主要由()、()、()、()、()等工艺手段组成。

填空题常规硅集成电路平面制造工艺中光刻工序包括的步骤有()、()、()、()、()、()、()等。

填空题集成电路由()、()、()等组成,集中制造在一个芯片上,目前的超大规模集成电路芯片,其制造工艺已达到()微米级程度。

问答题在双极集成电路制造中,为什么要采用外延和埋层工艺?

单选题在集成电路加工制造中,通常所指前道工艺为()A集成电路制造(晶圆加工)B集成电路封装C集成电路测试D集成电路设计

判断题在集成电路制造工艺步骤中,光刻与刻蚀能把掩膜版上的图形转移到硅片上来。A对B错

问答题在集成电路制造工艺中,轻掺杂漏(LDD)注入工艺是如何减少结和沟道区间的电场,从而防止热载流子的产生?

填空题集成电路制造通常包括集成电路设计、工艺加工、()、封装等工序。

填空题集成电路制造工艺技术主要包括:热工艺、()、光刻、清洗与刻蚀、金属化、表面平坦化。

判断题光刻是集成电路制造工艺发展的驱动力。A对B错

填空题集成电路制造中掺杂类工艺有()和()两种。

问答题热氧化工艺有哪些?

判断题双极型集成电路工艺是用来制造CMOS集成电路。A对B错

问答题集成电路制造工艺中,主要有哪两种隔离工艺?目前的主流深亚微米隔离工艺是哪种器件隔离工艺,为什么?

问答题列举IC芯片制造过程中热氧化SiO2的用途?