低压化学气相淀积与常压化学气相淀积法相比,优点有?
热分解化学气相淀积二氧化硅是利用（）化合物，经过热分解反应，在基片表面淀积二氧化硅。
物理气相淀积最基本的两种方法是什么？简述这两种方法制备薄膜的过程。
判断题在一个化学气相淀积工艺中，如果淀积速率是反应速率控制的，则为了显著增大淀积速率，应该增大反应气体流量。A对B错
问答题化学气相淀积（CVD）的概念，有哪五种基本化学反应？
填空题缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是（）、（）、高密度等离子体化学气相淀积和（）。
问答题化学气相沉积和物理气相沉积的基本原理是什么？
问答题低压化学气相淀积与常压化学气相淀积法相比，优点有？