刻蚀技术分湿法刻蚀和干法刻蚀两种，湿法刻蚀是指化学腐蚀，干法刻蚀容易出现钻蚀问题。
刻蚀技术分湿法刻蚀和干法刻蚀两种，湿法刻蚀是指化学腐蚀，干法刻蚀容易出现钻蚀问题。
参考答案和解析
湿法刻蚀设备简单、工艺操作方便，一般的常规生产均能满足要求，但各向同性刻蚀性太强，难以控制线宽，而且刻蚀剂大多为腐蚀性较强的试剂，安全性较差；
物理性干法刻蚀方向性好、可获得接近垂直的刻蚀侧墙，但因为离子的溅击面太广，掩蔽层也遭到刻蚀，使得刻蚀选择性降低，另外，被击出的是非挥发性物质，容易再次淀积，使刻蚀速率降低；化学性干法刻蚀选择比高但却是各向同性刻蚀，线宽控制性差。
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问答题什么是干法刻蚀？什么是湿法刻蚀？比较二者的优缺点。