问答题什么是干法刻蚀？干法有几种刻蚀方法？
问答题
什么是干法刻蚀？干法有几种刻蚀方法？
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下列有关ARC工艺的说法正确的是（）。A、ARC可以是硅的氮化物B、可用干法刻蚀除去C、ARC膜可以通过PVD或者CVD的方法形成D、ARC在刻蚀中也可做为掩蔽层E、ARC膜也可以通过CVD的方法形成
问答题什么是干法刻蚀？什么是湿法刻蚀？比较二者的优缺点。