LIGA (光刻)工艺制造微电子芯片属于精密特种加工。() 此题为判断题(对，错)。
常见的机械加工工艺文件有机械（）、机械加工工序卡。A、加工工艺过程卡B、装备工艺过程卡C、加工工步过程卡D、制造工艺工程卡
光刻加工的工艺过程为（）A、①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗B、①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散C、①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原
以工序为单位详细说明整个工艺过程的是（）。A、机械加工工艺过程卡B、机械加工工艺卡C、机械加工工序卡D、机械加工卡
机械加工工艺过程卡片以工序为单位，按加工顺序列出整个零件加工所经过的工艺路线，加工设备和工艺装备及时间定额等。
微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。A、干法刻蚀、湿法刻蚀B、离子束刻蚀、激光刻蚀C、溅射加工、直写加工D、以上都可以
用机械加工方法，将毛坯变成零件的过程称为（）过程。A、加工工艺B、制造工艺C、机械加工工艺D、机械工艺
微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
单选题微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。Aa.离子束刻蚀、激光刻蚀Bb.干法刻蚀、湿法刻蚀Cc.溅射加工、直写加工
单选题微传感器的加工工艺不包括（）。A光刻技术BHARQ技术C半导体掺杂技术DLIGA技术
判断题最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。A对B错
问答题最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是哪种胶？
问答题PN结隔离的双极集成电路工艺需要几次光刻，每次光刻目的是什么？
填空题微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
问答题什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。
多选题以下属于光刻工艺的为：（）。A光刻胶涂覆B曝光C显影D腐蚀