简述光刻工艺流程。
简述光刻工艺流程。
相关考题：
光刻的主要工艺流程按照操作顺序是（）。A、涂胶、前烘、曝光、坚膜、显影、去胶B、涂胶、前烘、坚膜、曝光、显影、去胶C、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、去胶D、前烘、涂胶、曝光、坚膜、显影、去胶
问答题什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。