可用光刻－电铸－模铸复合成形技术加工的材料有下面那种?() A、金属B、陶瓷C、玻璃D、塑料
用电铸加工方法制作模具型腔时，为了获得较高的机械强度和硬度、较小的表面粗糙度，电铸材料应采用（）。A、电铸镍B、电铸同C、电铸铁D、电铸铝
解释正性光刻和负性光刻的区别？为什么正胶是普遍使用的光刻胶？最常用的正胶是指哪些胶？
德国大众汽车公司标志中采用了叠加的VW字样，VW是德文大众车的缩写。
光刻电铸的最大加工厚度为（）μm。A、300B、400C、500D、600
LIGA技术的第一步骤是（）。A、通过电铸从光刻胶三维结构上产生金属母模B、用光刻的方法在光刻胶上刻出微机械或微器件的三维结构C、用生产用模作大规模复制D、用母模通过电铸或塑铸方法复制许多金属的或其它材料的生产用模
立体光刻的英文缩写是（）。A、LOMB、SLSC、SLAD、FDM
德国大众汽车公司标志中采用了叠加的（）字样，（）是德文大众车的缩写。
问答题简述什么是光刻胶、光刻胶的用途、光刻对光刻胶的要求。
填空题电铸与电解同为电化学加工，不同的是电解加工依靠（）原理进行加工，而电铸是依靠电化学（）原理进行加工。
判断题最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。A对B错
问答题最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是哪种胶？
填空题光刻包括两种基本的工艺类型：负性光刻和（），两者的主要区别是所用光刻胶的种类不同，前者是（），后者是（）。
问答题简述接触式光刻、接近式光刻及投影式光刻的优缺点。
填空题电铸与电解同为电化学加工，不同的是电解是依靠电化学阳极溶解原理进行加工，而电铸是依靠（）原理进行加工。
填空题电铸法制模的工艺过程：原模设计与制造→（）→电铸至规定厚度→（）→脱模→清洗干燥→成品。
填空题电铸与电解同为电化学加工，不同的是电解加工依靠电化学阳极溶解原理进行加工，而电铸是依靠电化学（）原理进行加工。
填空题电铸与电解同为电化学加工，不同的是电解是依靠电化学阳极溶解原理进行加工，而电铸是依靠电化学（）原理进行加工。
问答题什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。