问答题简述IC芯片工艺过程中包括的刻蚀工艺过程

问答题
简述IC芯片工艺过程中包括的刻蚀工艺过程

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微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种()。A、干法刻蚀、湿法刻蚀B、离子束刻蚀、激光刻蚀C、溅射加工、直写加工D、以上都可以

在集成电路工艺中,光复制图形和材料刻蚀相结合的工艺技术是()。A、刻蚀B、氧化C、淀积D、光刻

微细加工工艺方法主要有:(),光刻加工,体刻蚀加工技术,面刻蚀加工技术,LIGA技术,()和()。

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判断题大马士革工艺的重点在于介质的刻蚀而不是金属的刻蚀。A对B错

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判断题对于大马士革工艺,重点是在于金属的刻蚀而不是介质的刻蚀。A对B错

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