填空题圆筒式等离子刻蚀的（），适用于（）工艺；反应离子刻蚀，（），可以用通入不同的工艺气体，实现好的选择性，适合于对（）和（）的刻蚀。
填空题
圆筒式等离子刻蚀的（），适用于（）工艺；反应离子刻蚀，（），可以用通入不同的工艺气体，实现好的选择性，适合于对（）和（）的刻蚀。
参考解析
解析：
暂无解析
相关考题：
低温甲醇洗工艺利用了低温甲醇对合成氨工艺原料气中各气体成分选择性吸收的特点，选择性吸收是指（）。A、各气体成分的沸点不同B、各气体成分在甲醇中的溶解度不同C、各气体成分在工艺气中的含量不同D、各气体成分的分子量不同
低温甲醇洗工艺利用了低温甲醇对合成氨工艺原料气中各气体成分选择性吸收的特点，选择性吸收是指（）A、各气体成分的沸点不同B、各气体成分在甲醉中的溶解度不同C、各气体成分在工艺气中的含量不同D、各气体成分的相对分子质量不同
低温甲醇洗工艺利用了低温甲醇对工艺原料气中各气体成分选择性吸收的特点，选择性吸收是指（）。A、各气体成分的沸点不同B、各气体成分在甲醇中的溶解度不同C、各气体成分在工艺气中的含量不同D、各气体成分的分子量不同
问答题从刻蚀工艺上可以将刻蚀分为什么种类？