干法刻蚀的目的是什么？例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么？
简述热处理工艺中的正火、退火、淬火、回火的定义、目的及应用。
微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。A、干法刻蚀、湿法刻蚀B、离子束刻蚀、激光刻蚀C、溅射加工、直写加工D、以上都可以
在集成电路工艺中，光复制图形和材料刻蚀相结合的工艺技术是（）。A、刻蚀B、氧化C、淀积D、光刻
微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
单选题微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。Aa.离子束刻蚀、激光刻蚀Bb.干法刻蚀、湿法刻蚀Cc.溅射加工、直写加工
判断题大马士革工艺的重点在于介质的刻蚀而不是金属的刻蚀。A对B错
单选题无刻蚀镀铁是为了（）而出现的镀铁新工艺。Ⅰ.提高镀铁质量；Ⅱ.发展镀铁工艺；Ⅲ.克服刻蚀处理的缺点；Ⅳ.提高镀铁效率；Ⅴ.简化工艺。AⅠ＋Ⅲ＋ⅤBⅠ＋Ⅳ＋ⅤCⅡ＋Ⅲ＋ⅤDⅡ＋Ⅳ＋Ⅴ
问答题在STI的刻蚀工艺过程中，要注意哪些工艺参数？
填空题圆筒式等离子刻蚀的（），适用于（）工艺；反应离子刻蚀，（），可以用通入不同的工艺气体，实现好的选择性，适合于对（）和（）的刻蚀。
判断题对于大马士革工艺，重点是在于金属的刻蚀而不是介质的刻蚀。A对B错
问答题刻蚀工艺的目的是什么，这个区中最常用的设备是什么？
填空题微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。