问答题简述在APCVD SiO2时掺杂PH3，形成磷硅玻璃（PSG）的优缺点。
问答题
简述在APCVD SiO2时掺杂PH3，形成磷硅玻璃（PSG）的优缺点。
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A.PSG检查睡眠时，口鼻气流停止时，记录不到膈肌和胸壁肌活动B.PSG检查睡眠时，口鼻气流停止时，膈肌和胸壁肌活动明显C.PSG检查睡眠时，最低血氧低于80%D.PSG检查睡眠时，RD124，血氧89%E.PSG检查睡眠时，RD1＞20，血氧＞90%阻塞SAHS
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问答题掺杂的目的是什么？举出两种掺杂方法并比较其优缺点。