问答题扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么?与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么?

问答题
扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么?与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么?

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在杂质半导体中,多数载流子的浓度取决于();当杂质浓度一定时,少数载流子的浓度与()有关。 A、掺杂种类B、掺杂浓度C、温度D、电压

关于BJT的结构特点说法错误的是()。A、基区很薄且掺杂浓度很低B、发射区的掺杂浓度远大于集电区掺杂浓度C、基区的掺杂浓度远大于集电区掺杂浓度D、集电区面积大于发射区面积

导电聚合物的氧化掺杂也称p型掺杂,指用碱金属进行掺杂。()

导电聚合物的还原掺杂(也称n型掺杂)一般是用卤素掺杂。()

半导体中的离子注入掺杂是把掺杂剂()加速到的需要的(),直接注入到半导体晶片中,并经适当温度的()。

根据扩散原理,将三价(硼)或五价(磷)杂质原子掺入到硅半导体材料中()A、 温度越高,掺杂越快B、 温度越低,掺杂越快C、 温度恒定,掺杂最快D、 掺杂快慢与温度无关

N型半导体中的自由电子是()形成的。A、掺杂B、能量击发C、掺杂与能量击发

根据晶体管的结构特点,()区的掺杂浓度最低。()区的掺杂浓度最高。

在杂质半导体中,少数载流子的浓度与()有很大关系。A、温度B、掺杂工艺C、杂质浓度D、晶体管缺陷

砷掺杂Si的导电机理是什么?

填空题离子注入机的对Si衬底作P型掺杂的源气常用(),N型掺杂的源气常用()和()。对GaAs做N型掺杂的源气常用()

判断题实现对CVD淀积多晶硅掺杂主要有三种工艺:扩散、离子注入、原位掺杂。由于原位掺杂比较简单,所以被广泛采用。A对B错

单选题杂质半导体中少数载流子浓度()A与掺杂浓度和温度无关B只与掺杂浓度有关C只与温度有关D与掺杂浓度和温度有关

判断题热扩散掺杂的工艺可以一步实现。A对B错

问答题掺杂的目的是什么?掺杂在何时进行?惨杂方法有哪几种?

问答题常用掺杂方法是什么?

单选题在较先进的集成电路制造工艺中,通常采()来实现掺杂。A刻蚀B离子注入C光刻D金属化

单选题现代集成电路制造工艺中,主流掺杂技术为()A扩散B化学机械抛光C刻蚀D离子注入

问答题埋层有什么作用?说明埋层与衬底掺杂类型、掺杂浓度之间的关系。

问答题掺杂的目的是什么?举出两种掺杂方法并比较其优缺点。

判断题有限表面源扩散与离子注入的杂质分布都满足高斯函数,两种掺杂工艺杂质最高浓度位置都在硅片表面。A对B错

判断题离子注入是唯一能够精确控制掺杂的手段。A对B错

单选题根据扩散原理,将三价(硼)或五价(磷)杂质原子掺入到硅半导体材料中()A 温度越高,掺杂越快B 温度越低,掺杂越快C 温度恒定,掺杂最快D 掺杂快慢与温度无关

填空题扩散的目的是为了实现对半导体掺杂,杂质扩散的深度与()有关,服从()。杂质扩散通常分为等表面浓度扩散,也(),和固定杂质总量扩散,也称()。预淀积的分布是()函数,再分布扩散的杂质呈()函数分布。

判断题在现代集成电路加工技术中,主流的掺杂技术是扩散掺杂。A对B错

单选题离子注入与热扩散相比,哪个横向效应小()A 离子注入B 热扩散

填空题由点缺陷(肖特基和弗兰克尔缺陷)引起的扩散为()扩散,空位来源于掺杂而引起的扩散为()扩散。