问答题解释APCVD，使用APCVD SiO2的主要问题是什么，是用硅烷作为反应源吗？

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解释APCVD，使用APCVD SiO2的主要问题是什么，是用硅烷作为反应源吗？

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反应器开车时，硅烷从反应器（）加入，其进料与（）成比例控制，反应器运行稳定后，硅烷从反应器（）加入，其进料的与（）成比例控制。
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离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。A、砷化氢B、二硼化氢C、三氟化硼D、硅烷E、氧气
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惠州社保卡可以作为金融卡使用吗？具体怎么用？
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两种无水氧化物生成盐的反应，可以看成是路易斯酸---碱反应，如：CaO与SiO2的反应，可以看作是（）作为酸与（）作为碱的反应
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硅的还原从滴落带开始，还原的途径有三种：渣铁反应、渣焦反应、气相SiO2还原，其中（）是硅还原的主要途径。A、 渣铁反应B、 渣焦反应C、 气相SiO2还原
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决定造渣用石灰的反应能力的关键因素是（）.A、气孔体积B、块度C、SiO2含量
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作为传染病的传染源主要是什么？
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钢铁硅烷化处理界面发生（）反应。
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异丙醇和硅烷卸桶泵所使用的气源是（）。
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研究堆是指主要用来作为（）的核反应堆。A、中子源B、电子源C、质子源D、核子源
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水煤浆气化高压氮平时最主要的作用是什么？是作为气化炉热偶氮保护吗？
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为什么用四甲基硅烷作为化学位移的基准？
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名词解释题APCVD（常压CVD）
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判断题LPCVD系统中淀积速率是受表面反应控制的，APCVD系统中淀积速率受质量输运控制。A对B错
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填空题缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是（）、（）、高密度等离子体化学气相淀积和（）。
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问答题缩写中文含义 APCVD          HDPCVD LPCVD      PECVD PVD        BJT CD           CMOS CMP MIC ILD   MBE SOI      DUV MOCVD BSG PSG BPSG RTP RTA IC    LOCOS STI   LI VLSI CA FIB ARC ASIC RIE FIB EUV LDD
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判断题在半导体产业界第一种类型的CVD是APCVD。A对B错
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判断题APCVD反应器中的硅片通常是平放在一个平面上。A对B错
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判断题与APCVD相比，LPCVD有更低的成本、更高的产量以及更好的膜性能，因此应用更为广泛。A对B错
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问答题作为传染病的传染源主要是什么？
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