下列有关ARC工艺的说法正确的是()。A、ARC可以是硅的氮化物B、可用干法刻蚀除去C、ARC膜可以通过PVD或者CVD的方法形成D、ARC在刻蚀中也可做为掩蔽层E、ARC膜也可以通过CVD的方法形成
下列有关ARC工艺的说法正确的是()。
- A、ARC可以是硅的氮化物
- B、可用干法刻蚀除去
- C、ARC膜可以通过PVD或者CVD的方法形成
- D、ARC在刻蚀中也可做为掩蔽层
- E、ARC膜也可以通过CVD的方法形成
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金相学的研磨之所以会在研磨面上造成如刮伤般的痕迹是由于在制程中()。A、氧化铬磨料溶水制成的研磨液B、使用羊毛研磨垫C、采用旋转研磨垫加压的方法D、无法必免的机械损耗