判断题LPCVD系统中淀积速率是受表面反应控制的,APCVD系统中淀积速率受质量输运控制。A对B错

判断题
LPCVD系统中淀积速率是受表面反应控制的,APCVD系统中淀积速率受质量输运控制。
A

B


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