判断题LPCVD系统中淀积速率是受表面反应控制的，APCVD系统中淀积速率受质量输运控制。A对B错
判断题
LPCVD系统中淀积速率是受表面反应控制的，APCVD系统中淀积速率受质量输运控制。
A
对
B
错
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解析：
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