问答题列出并描述光刻中使用的两种UV曝光光源。
问答题
列出并描述光刻中使用的两种UV曝光光源。
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解析：
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在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，它的优点在于（）。A、CA光刻胶对深紫外光吸收小B、CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化C、CA光刻胶在显影液中的可溶性强D、有较高的光敏度E、有较高的对比度
下面对于CTP技术的描述中不正确的是（）。A、CTP所采用的激光光源按其光谱特性可分为可见光源、红外光源、紫外线光源B、采用CTP技术可有效缩短印刷准备时间，充分提高印刷效率C、热敏CTP版材可以实现明室操作印刷包装城D、UV-CTP版材可采用紫外光曝光，因此不属于CTP版材
下列关于AAS与UV－VIS区别的叙述中，错误的是（）。A、AAS法是原子吸收线状光谱；UV－VIS法是分子吸收带状光谱B、AAS法是连续光源（钨灯、氘灯）；UV－VIS法是锐线光源（空心阴极灯）C、AAS法仪器排列顺序为锐线光源→原子化器→单色器→检测器D、UV－VIS法仪器排列顺序为光源→单色器→吸收池→检测器
多选题以下属于光刻工艺的为：（）。A光刻胶涂覆B曝光C显影D腐蚀