什么是硅化物？难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么？
集成电路是指在一个半导体硅片上制造的电子电路。（）
例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。
判断题有光刻胶覆盖硅片的三个生产区域分别为光刻区、刻蚀区和扩散区。A对B错
问答题什么是硅化物？难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么？
判断题不正确的刻蚀将导致硅片报废，给硅片制造公司带来损失。A对B错
问答题例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。
问答题工厂中硅片（wafer）的制造过程可分哪几个工艺过程(module)？
填空题制造电子器件的基本半导体材料是圆形单晶薄片，称为硅片或（）。在硅片制造厂，由硅片生产的半导体产品，又被称为（）或（）。
问答题列出热氧化物的硅片制造的六种用途，并给出各种用途的目的。
问答题一般硅片的制造（wafer process）过程包含哪些主要部分？
判断题在晶片制造中，有两种方法可以向硅片中引入杂质元素，即热扩散和离子注入。A对B错
填空题在半导体制造业中，最早的互连金属是（），在硅片制造业中最普通的互连金属是（），即将取代它的金属材料是（）。