什么是硅化物？难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么？
净化室将硅片制造设备与外部环境隔离，免受诸如（）的沾污。A、颗粒B、金属C、有机分子D、静电释放（ESD）E、水
静电释放带来的问题有哪些（）。A、金属电迁移B、金属尖刺现象C、芯片产生超过1A的峰值电流D、栅氧化层击穿E、吸引带电颗粒或极化并吸引中性颗粒到硅片表面
请例举至少5种已学关于煤化工工艺的催化剂，并注明其用于何处。
问答题什么是硅化物？难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么？
问答题例举并描述硅片拣选测试中的三种典型电学测试（第十九章）
判断题不正确的刻蚀将导致硅片报废，给硅片制造公司带来损失。A对B错
问答题什么是薄膜？例举并描述可接受的薄膜的8个特性。
填空题制造电子器件的基本半导体材料是圆形单晶薄片，称为硅片或（）。在硅片制造厂，由硅片生产的半导体产品，又被称为（）或（）。
问答题列出热氧化物的硅片制造的六种用途，并给出各种用途的目的。
填空题在半导体制造业中，最早的互连金属是（），在硅片制造业中最普通的互连金属是（），即将取代它的金属材料是（）。