问答题光刻技术中的常见问题有那些?
问答题
光刻技术中的常见问题有那些?
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在深紫外曝光中,需要使用CA光刻胶,它的优点在于()。A、CA光刻胶对深紫外光吸收小B、CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化C、CA光刻胶在显影液中的可溶性强D、有较高的光敏度E、有较高的对比度
问答题后光刻时代有那些光刻新技术?