多选题采用二氧化硅薄膜作为栅极氧化层，是利用其具有的（）A高电阻率；B高化学稳定性；C低介电常数；D高介电强度。

多选题
采用二氧化硅薄膜作为栅极氧化层，是利用其具有的（）
A

高电阻率；

B

高化学稳定性；

C

低介电常数；

D

高介电强度。

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