问答题简述干氧氧化与湿氧氧化各自的特点,通常用哪种工艺制备较厚的二氧化硅层?

问答题
简述干氧氧化与湿氧氧化各自的特点,通常用哪种工艺制备较厚的二氧化硅层?

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干氧氧化法具备以下一系列的优点()。A、生长的二氧化硅薄膜均匀性好B、生长的二氧化硅干燥C、生长的二氧化硅结构致密D、生长的二氧化硅是很理想的钝化膜E、生长的二氧化硅掩蔽能力强

干氧氧化法有一些优点,但同时它的缺点有()。A、生长出的二氧化硅中引入很多可动离子B、氧化的速度慢C、生长的二氧化硅缺陷多D、生长的二氧化硅薄膜钝化效果差

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