名词解释题离子注入的沟道效应

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离子注入的沟道效应

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离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A、能量B、剂量
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什么是离子注入中常发生的沟道效应（Channeling）和临界角？怎样避免沟道效应？
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离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。A、能量B、剂量
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离子注入
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什么叫离子注入，它的特点是什么？
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对沟道效应，沿着主晶轴方向入射时，角分布半宽度的典型值为多少。
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问答题简述沟道效应的含义及其对离子注入可能造成的影响如何避免？
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填空题阈电压V的短沟道效应是指，当沟道长度缩短时，V变（）。
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单选题离子注入过程是一个非平衡过程，高能离子进入靶后不断与原子核及其核外电子碰撞，逐步损失能量，最后停下来。停下来的位置是随机的，大部分不在晶格上，因而没有（）。A 电活性B 晶格损伤C 横向效应D 沟道效应
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问答题MOS晶体管的短沟道效应是指什么，其对晶体管有什么影响？
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问答题描述沟道效应。列举并简要解释控制沟道效应的三种机制。
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问答题离子注入后为何退火？
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问答题什么是短沟道效应？有哪些设计和工艺措施可以降低短沟道效应？
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填空题离子注入的两种阻滞机制：（）
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问答题什么是沟道效应？抑制方法？
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问答题简述离子注入原理
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问答题离子注入法有哪些优点？
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名词解释题离子注入
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问答题扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么？与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么？
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问答题什么是离子注入时的沟道效应？列举出三种控制沟道效应的方法？
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问答题如何降低沟道效应？
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填空题（）称为沟道效应，可以用（）、（）和（）来避免。其中，（）是最常用的方法。
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名词解释题沟道效应
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问答题简述离子注入的应用？
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名词解释题短沟道效应（Short Channel Effect）
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名词解释题离子注入的晶格损伤
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单选题离子注入与热扩散相比，哪个横向效应小（）A 离子注入B 热扩散
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