离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的()。A、能量B、剂量

离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的()。

  • A、能量
  • B、剂量

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离子注入杂质浓度分布中最重要的二个射程参数是()和()。

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离子注入层的深度主要取决于离子注入的()。A、能量B、剂量

对于非晶靶,离子注入的射程分布取决于()。A、入射离子的能量B、入射离子的质量C、入射离子的原子序数D、靶原子的质量、原子序数、原子密度E、注入离子的总剂量

离子注入

什么叫离子注入,它的特点是什么?

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问答题例举离子注入设备的5个主要子系统。

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名词解释题离子注入

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