低压厂用电系统中性点的接地方式(经高阻接地)有哪些优缺点?
高压和低压的放射式接线和树干式接线有哪些优缺点?分别说明高低压配电系统各宜首先考虑哪种接线方式?
问答题常用的CVD哪几种?说明各自的优缺点以及应用领域。
问答题解释质量输运限制CVD工艺和反应速度限制CVD工艺的区别,哪种工艺依赖于温度,LPCVD和APCVD各属于哪种类型?
判断题LPCVD紧随PECVD的发展而发展。由660℃降为450℃,采用增强的等离子体,增加淀积能量,即低压和低温。A对B错
判断题在LPCVD中,由于hGkS,即质量转移系数远大于表面反应速率常数,所以,LPCVD系统中,淀积过程主要是质量转移控制A对B错
判断题在LPCVD中,由于hGkS,即质量转移系数远大于表面反应速率常数,所以,LPCVD系统中,淀积过程主要是表面反应速率控制A对B错
判断题CVD系统包括热壁式CVD系统和冷壁式CVD系统,在冷壁式CVD系统中侧壁温度与沉底温度相等。A对B错