20、可以采取哪种方法来提高光刻分辨率？A．缩短光源波长；B．减小光学系统数值孔径；C．减小分辨率系数;D．增长光源波长；E．增大光学系统数值孔径；F．增大分辨率系数。
20、可以采取哪种方法来提高光刻分辨率？
A．缩短光源波长；
B．减小光学系统数值孔径；
C．减小分辨率系数;
D．增长光源波长；
E．增大光学系统数值孔径；
F．增大分辨率系数。
参考答案和解析
缩短光源波长；;减小分辨率系数 ;;增大光学系统数值孔径；
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