CVD多晶硅薄膜的硅源是()。A.硅烷B.二氯硅烷C.TEOSD.氮化硅

CVD多晶硅薄膜的硅源是()。

A.硅烷

B.二氯硅烷

C.TEOS

D.氮化硅


参考答案和解析
A

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硅提纯及制备工艺流程正确的是()。 A、石英砂-西门子法多晶硅-金属硅-直拉单晶硅B、金属硅-石英砂-西门子法多晶硅-直拉单晶硅C、石英砂-金属硅-西门子法多晶硅-直拉单晶硅D、西门子法多晶硅-石英砂-金属硅-直拉单晶硅

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在多晶硅薄膜制造装置中可使用RTP,将得到的灯光用(),然后缓慢地移动位置,使多晶硅薄膜再结晶化。

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