CVD多晶硅薄膜的硅源是()。A.硅烷B.二氯硅烷C.TEOSD.氮化硅
CVD多晶硅薄膜的硅源是()。
A.硅烷
B.二氯硅烷
C.TEOS
D.氮化硅
参考答案和解析
A
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