异质基片上高品质叠层的多晶硅型薄膜技术有几种方法?
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通过调节喷枪支架调节喷枪的喷雾角度,使喷雾与基片成()。开始时,为压住基片表面的粉尘,基片不受磨损,使基片表面快速粘附一层薄膜,要调节流()和(),加大喷衣溶液流速,达到()的理想雾化状态。当包衣溶液已将基片的表面形成一层薄膜后,要逐渐减少喷衣溶液的流速,才能保持片床稍感潮湿但不相粘的理想雾化状态。
填空题通过调节喷枪支架调节喷枪的喷雾角度,使喷雾与基片成()。开始时,为压住基片表面的粉尘,基片不受磨损,使基片表面快速粘附一层薄膜,要调节流()和(),加大喷衣溶液流速,达到()的理想雾化状态。当包衣溶液已将基片的表面形成一层薄膜后,要逐渐减少喷衣溶液的流速,才能保持片床稍感潮湿但不相粘的理想雾化状态。
单选题钻立方铂金膜中经过离子轰击技术的是()A清洁膜基片B加硬膜减反射膜C基片减反射膜D防静电层清洁膜