通常热扩散分为两个大步骤,其中第一个步骤是()。A、再分布B、等表面浓度扩散C、预淀积D、等总掺杂剂量扩散
通常热扩散分为两个大步骤,其中第一个步骤是()。
- A、再分布
- B、等表面浓度扩散
- C、预淀积
- D、等总掺杂剂量扩散
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关于温度对化学反应过程各步骤的影响,下述哪些说法正确?()A、温度对外扩散过程的影响最大;B、温度对化学反应和扩散步骤均有影响,但对化学反应步骤的影响要比扩散大得多;C、温度对内扩散步骤的影响最大;D、温度对内扩散的影响很小
填空题扩散的目的是为了实现对半导体掺杂,杂质扩散的深度与()有关,服从()。杂质扩散通常分为等表面浓度扩散,也(),和固定杂质总量扩散,也称()。预淀积的分布是()函数,再分布扩散的杂质呈()函数分布。
判断题在硅中固态杂质的热扩散需要三个步骤:预淀积、推进和激活。A对B错