离子束加工包括( )。 A.离子束溅射去除加工B.离子束溅射镀膜C.离子束溅射注入D.离子束焊接
溅射法是由（）轰击靶材表面，使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬底上形成薄膜。A、电子B、中性粒子C、带能离子
溅射的方法非常多其中包括（）。A、直流溅射B、交流溅射C、反应溅射D、二级溅射E、三级溅射
从电极的结构看，溅射的方法包括（）。A、直流溅射B、交流溅射C、二级溅射D、三级溅射E、四级溅射
简述溅射成膜的原理，并举例说明哪种薄膜采用溅射方法成膜。
简述热蒸镀（真空蒸发）膜与离子溅射膜的区别和优缺点。
填空题常用的溅射镀膜气体是（），射频溅射镀膜的射频频率是（）。
判断题离子溅射镀膜与离子镀过程原理是一样的。A对B错
填空题根据引起气体放电的机理不同，可形成不同的溅射镀膜方法，主要有（）溅射、（）溅射、反应溅射、磁控溅射等方法。
判断题常用的溅射镀膜方法有直流溅射、射频溅射、磁控溅射，其中磁控溅射的气压最低、靶电流密度最高。A对B错
单选题电子刻蚀加工主要是通过热效应对工件进行加工，而离子刻蚀加工主要是通过（）效应对工件进行加工。A撞击B溅射C注入D撞击、溅射
问答题为溅射做一个简短的解释，并描述它的工作方式？溅射适合于合金淀积吗？溅射淀积的优点是什么？
判断题离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。A对B错