离子束加工包括( )。 A.离子束溅射去除加工B.离子束溅射镀膜C.离子束溅射注入D.离子束焊接
简述便携式等离子束发生器等离子束流偏斜原因及排除方法？
（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数。A、溅射率B、溅射系数C、溅射效率D、溅射比
溅射的方法非常多其中包括（）。A、直流溅射B、交流溅射C、反应溅射D、二级溅射E、三级溅射
从电极的结构看，溅射的方法包括（）。A、直流溅射B、交流溅射C、二级溅射D、三级溅射E、四级溅射
简述溅射成膜的原理，并举例说明哪种薄膜采用溅射方法成膜。
微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。A、干法刻蚀、湿法刻蚀B、离子束刻蚀、激光刻蚀C、溅射加工、直写加工D、以上都可以
简述热蒸镀（真空蒸发）膜与离子溅射膜的区别和优缺点。
简述便携式等离子束发生器等离子束出现绿色荫蔽原因及排除方法？
单选题微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。Aa.离子束刻蚀、激光刻蚀Bb.干法刻蚀、湿法刻蚀Cc.溅射加工、直写加工
问答题简述便携式等离子束发生器等离子束出现绿色荫蔽原因及排除方法？
填空题根据引起气体放电的机理不同，可形成不同的溅射镀膜方法，主要有（）溅射、（）溅射、反应溅射、磁控溅射等方法。
判断题常用的溅射镀膜方法有直流溅射、射频溅射、磁控溅射，其中磁控溅射的气压最低、靶电流密度最高。A对B错
判断题离子束加工（如溅射、镀膜）是利用离子束的热效应来实现工件加工的。A对B错
问答题简述便携式等离子束发生器等离子束流偏斜原因及排除方法？
单选题离子束加工技术利用注入效应加工的是（）A离子束刻蚀B溅射镀膜C离子镀D离子注入