例举离子注入设备的5个主要子系统。
例举离子注入设备的5个主要子系统。
相关考题:
下列关于管理子系统的描述中,哪些是正确的?()A、管理子系统连接着垂直干线子系统和设备间子系统的设备B、管理子系统由交连、互联和I/O组成C、管理子系统的主要设备是配线架、Hub和机柜、电源D、设备间与建筑群子系统各设施间的电缆属于管理子系统E、管理子系统需要保持一定的温度和湿度,以保养好设备
问答题例举离子注入工艺和扩散工艺相比的优点和缺点。