问答题简述硅片表面污染的来源。
问答题
简述硅片表面污染的来源。
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目前空气污染的来源主要分为哪几类()。A工业污染来源、生活污染来源、交通运输污染来源和农业污染来源B工业污染来源、生产污染来源、交通运输污染来源和农业污染来源C工业污染来源、生活污染来源、生产污染来源和农业污染来源 D生产污染来源、生活污染来源、交通运输污染来源和农业污染来源
目前空气污染的来源主要分为哪几类（）A、污染来源B、工业污染来源、生产污染来源、交通运输污染来源和农业污染来源C、工业污染来源、生活污染来源、生产污染来源和农业污染来源D、生产污染来源、生活污染来源、交通运输污染来源和农业污染来源
填空题硅片上的氧化物主要通过（）和（）的方法产生，由于硅片表面非常平整，使得产生的氧化物主要为层状结构，所以又称为（）。