PECVD的含义是A.光化学气相淀积B.等离子体增强化学气相淀积C.低压化学气相淀积D.常压化学气相淀积

PECVD的含义是

A.光化学气相淀积

B.等离子体增强化学气相淀积

C.低压化学气相淀积

D.常压化学气相淀积


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