常见的化学气相淀积方法有: 。A.APCVDB.LPCVDC.PECVDD.HDPCVD

常见的化学气相淀积方法有: 。

A.APCVD

B.LPCVD

C.PECVD

D.HDPCVD


参考答案和解析
APCVD;LPCVD;PECVD;HDPCVD

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名词解释题物理气相淀积(pvd)

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问答题低压化学气相淀积与常压化学气相淀积法相比,优点有?