填空题化学气相沉积与物理气相沉积最根本的区别是在沉积前是否发生了（）。
填空题
化学气相沉积与物理气相沉积最根本的区别是在沉积前是否发生了（）。
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利用气态化合物（或化合物的混合物）在基体受热表面发生化学反应，并在该基体表面生成固态沉积物的技术称（）。A、物理气相沉积（PVD）B、物理气相沉积（CVD）C、化学气相沉积（VCD）D、化学气相沉积（CVD）
单选题利用气态化合物（或化合物的混合物）在基体受热表面发生化学反应，并在该基体表面生成固态沉积物的技术称（）。A物理气相沉积（PVD）B物理气相沉积（CVD）C化学气相沉积（VCD）D化学气相沉积（CVD）
单选题在大马士革铜工艺中，铜薄膜通常采用（）方式获得。A物理气相沉积B化学气相沉积C电化学镀D热氧化