多选题干法蚀刻通常指利用辉光放电方式,产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有()。A离子、电子B中性原子C分子D自由基

多选题
干法蚀刻通常指利用辉光放电方式,产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有()。
A

离子、电子

B

中性原子

C

分子

D

自由基


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