多选题影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面()。A等离子体蚀刻系统的形态B等离子体蚀刻的参数C光刻胶D待蚀刻薄膜的淀积参数条件

多选题
影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面()。
A

等离子体蚀刻系统的形态

B

等离子体蚀刻的参数

C

光刻胶

D

待蚀刻薄膜的淀积参数条件


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