问答题简述悬浮区熔法检验硅多晶中硼、磷含量的原理.
问答题
简述悬浮区熔法检验硅多晶中硼、磷含量的原理.
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硅提纯及制备工艺流程正确的是()。 A、石英砂-西门子法多晶硅-金属硅-直拉单晶硅B、金属硅-石英砂-西门子法多晶硅-直拉单晶硅C、石英砂-金属硅-西门子法多晶硅-直拉单晶硅D、西门子法多晶硅-石英砂-金属硅-直拉单晶硅
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