什么叫化学气相沉积?常用的化学气相沉积方法有哪些?
什么叫化学气相沉积?常用的化学气相沉积方法有哪些?
参考答案和解析
乃是通过化学反应的方式,利用加热、等离子激励火光辐射等各种能源,在反应器内使七台或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术。
这种技术可以提高材料抵御环境作用的能力,如提高材料表面的硬度、耐磨性和耐腐蚀性;他还可以赋予材料某些功能特性,包括光、电、磁、热、声等各种物理和化学性能。
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利用气态化合物(或化合物的混合物)在基体受热表面发生化学反应,并在该基体表面生成固态沉积物的技术称()。A、物理气相沉积(PVD)B、物理气相沉积(CVD)C、化学气相沉积(VCD)D、化学气相沉积(CVD)
单选题利用气态化合物(或化合物的混合物)在基体受热表面发生化学反应,并在该基体表面生成固态沉积物的技术称()。A物理气相沉积(PVD)B物理气相沉积(CVD)C化学气相沉积(VCD)D化学气相沉积(CVD)
名词解释题化学气相沉积(CVD)