问答题气相沉积有哪几种?
问答题
气相沉积有哪几种?
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利用气态化合物(或化合物的混合物)在基体受热表面发生化学反应,并在该基体表面生成固态沉积物的技术称()。A、物理气相沉积(PVD)B、物理气相沉积(CVD)C、化学气相沉积(VCD)D、化学气相沉积(CVD)
单选题“PECVD”中文表述是()。A脉冲激光沉积B金属有机化学气相沉积C溅射D等离子体增强化学气相沉积