微细加工的分为哪几类?() A.切削加工B.磨料加工C.特种加工D.复合加工
激光束斑直径可达()以下,可进行微细加工。 A、1μmB、5μmC、8μmD、10μm
微尺度加工通常是指零件尺寸很小,立足于微细加工方法和纳米加工技术,比如()。 A、光刻B、电子束C、离子束加工D、激光束加工
微细机械加工的关键技术有哪些?() A.微系统建模技术B.微细加工技术C.微型机械组装和封装技术D.自组织成型工艺
微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。A、干法刻蚀、湿法刻蚀B、离子束刻蚀、激光刻蚀C、溅射加工、直写加工D、以上都可以
微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
微型机械的特点有哪些？微细加工与一般尺寸加工是不同点在哪几个方面？
用半导体的微细加工技术，在非晶基片上通过使用微细的表面结构，考察了单晶成长方法，并命名为（）
激光光斑的大小可以聚焦到（），可用于精密微细加工。
微细加工机床必须具备（）。A、高精度B、高刚度C、高灵敏度D、高稳定性
单选题微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。Aa.离子束刻蚀、激光刻蚀Bb.干法刻蚀、湿法刻蚀Cc.溅射加工、直写加工
判断题电火花成型加工适宜加工低刚度工件及微细加工。A对B错
单选题为了提高电火花加工速度，可以增加单个脉冲能量WM，这种方法适用于（）A精加工B粗加工C镜面加工D微细加工
单选题微细加工技术是一种精密加工技术，所制造零件的特征是（）A微小尺寸B高精度C极低的表面粗糙度D高表面质量
判断题在微细加工时用误差尺寸的绝对值来表示加工精度。（）A对B错
多选题微细加工机床必须具备（）。A高精度B高刚度C高灵敏度D高稳定性
多选题下面的哪些工艺手段可以解决常规加工手段无法解决的工艺难题。（）A大面积镜面加工B小径长孔C切断加工D微细加工E螺纹加工
单选题以下加工方法中，属于复合加工的是（）A离子镀B镜面加工C微细加工D电解磨削
填空题微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
单选题微细加工技术能够获得（）A高精度B微小尺寸C极低的表面粗糙度D高质量
填空题微细加工技术是指制造（）零件的精密加工技术。
填空题（）加工是目前特种加工工艺方法中最精密、最微细的加工方法。