微尺度加工通常是指零件尺寸很小,立足于微细加工方法和纳米加工技术,比如()。 A、光刻B、电子束C、离子束加工D、激光束加工

微尺度加工通常是指零件尺寸很小,立足于微细加工方法和纳米加工技术,比如()。

A、光刻

B、电子束

C、离子束加工

D、激光束加工

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微细机械加工的关键技术有哪些?() A.微系统建模技术B.微细加工技术C.微型机械组装和封装技术D.自组织成型工艺
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纳米加工技术的加工精度要求在纳米级,主要指纳米级尺寸精度、纳米级几何形状精度二个方面。() 此题为判断题(对，错)。
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用微纳米技术加工液压泵阀时，加工时间短、工件温度低、基本变形小。
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光整加工是最后决定零件形状和尺寸精度的加工工艺方法
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加工精度指加工后零件形状、尺寸和 在与理想零件的符合程度。
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18、加工精度是指零件加工后的实际几何尺寸，主要包括尺寸，形状和位置与理想几何参数相符合的程度。
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