问答题离子束加工的基本原理和特点是什么?

问答题
离子束加工的基本原理和特点是什么?

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离子束加工的物理基础是离子束投射到工件表面时所产生的()、()和()。

离子束加工的物理基础是离子束投射到工件表面时所产生的()效应、()效应和()效应。

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