微尺度加工通常是指零件尺寸很小,立足于微细加工方法和纳米加工技术,比如()。 A、光刻B、电子束C、离子束加工D、激光束加工
离子束加工包括( )。 A.离子束溅射去除加工B.离子束溅射镀膜C.离子束溅射注入D.离子束焊接
辐射加工技术一般包含哪些（）。A、辐射交联B、离子束注入C、离子掺杂D、辐照育种
下列特种加工方法中，可以进行非接触远距离加工是（）。A、电火花加工B、电解加工C、激光加工D、超声加工E、水射流加工F、电子束加工G、离子束加工
微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。A、干法刻蚀、湿法刻蚀B、离子束刻蚀、激光刻蚀C、溅射加工、直写加工D、以上都可以
简述电子束、离子束、激光束加工技术的工作原理和适用的加工范围？各具有哪些特点？
光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）A、电子束曝光技术B、离子束曝光技术C、X射线曝光技术
离子束加工的物理基础是离子束投射到工件表面时所产生的（）、（）和（）。
下列特种加工方法中，不能加工陶瓷、玻璃、宝石等的是（）A、电火花加工B、电解加工C、激光加工D、超声加工E、水射流加工F、电子束加工G、离子束加工
下列特种加工方法中，不属于高能束加工范畴的是（）A、激光加工B、电火花加工C、电子束加工D、离子束加工E、水射流加工F、电解加工
下列特种加工方法中，只能加工导电材料的是（）A、电火花加工B、电解加工C、激光加工D、超声加工E、水射流加工F、电子束加工G、离子束加工
单选题微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。Aa.离子束刻蚀、激光刻蚀Bb.干法刻蚀、湿法刻蚀Cc.溅射加工、直写加工
填空题离子束加工的物理基础是离子束投射到工件表面时所产生的（）、（）和（）。
判断题离子束加工是利用离子束对材料进行成型或改性的加工方法。A对B错
填空题在离子束加工中，离子束投射到材料表面产生的两种效应是（）和（）。
填空题离子束加工的物理基础是离子束投射到工件表面时所产生的（）效应、（）效应和（）效应。
单选题下列加工工艺中，利用金属离子阴极沉积方法来进行成形加工的方法是（）A离子束加工B电解加工C等离子体加工D电刷镀
单选题下列特种加工方法中，利用放电腐蚀原理进行加工的是（）。A电火花加工B电解加工C激光加工D超声加工E水射流加工F电子束加工G离子束加工
多选题下列特种加工方法中，不属于高能束加工范畴的是（）A激光加工B电火花加工C电子束加工D离子束加工E水射流加工F电解加工
单选题光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。A电子束曝光技术B离子束曝光技术CX射线曝光技术
判断题离子束加工（如溅射、镀膜）是利用离子束的热效应来实现工件加工的。A对B错
多选题下列特种加工方法中，只能加工导电材料的是（）A电火花加工B电解加工C激光加工D超声加工E水射流加工F电子束加工G离子束加工
单选题离子束加工技术利用注入效应加工的是（）A离子束刻蚀B溅射镀膜C离子镀D离子注入