离子束加工的物理基础是离子束投射到工件表面时所产生的（）效应、（）效应和（）效应。
离子束加工的物理基础是离子束投射到工件表面时所产生的（）效应、（）效应和（）效应。
相关考题：
下列四个选项中，哪个是离子束加工所具有的特点（）A、加工中无机械应力和损伤B、通过离子撞击工件表面将机械能转化成热能，使工件表面熔化而去除工件材料C、工件表面层不产生热量，但有氧化现象D、需要将工件接正电位（相对于离子源）
单选题下列四个选项中，哪个是离子束加工所具有的特点（）A加工中无机械应力和损伤B通过离子撞击工件表面将机械能转化成热能，是工件表面熔化而去除工件材料C工件表面层不产生热量，但有氧化现象D需要将工件接正电位（相对于离子源）
单选题下面的说法中，不属于离子束加工特点的是（）A目前特种加工中最精密、最微细的加工B离子撞击工件表面，将机械能转换成热能，使工件表面融化、气化去除材料C加工在高真空中进行，污染少，特别适于易氧化金属加工D靠离子轰击材料表面原子进行加工，加工应力和变形极小
填空题离子束加工时，由于离子质量大，当速度高、能量大时，垂直撞击时离子可注入工件材料内部，称（）。当速度低、能量小时，离子可以溅射镀覆在工件表面，称（）。当能量速度（）而倾斜撞击工件时，可将工件表面的分子，原子撞击出去，一层一层的剥离下来，称为（）加工或（）加工。
单选题下列四个选项中，哪个是离子束加工所具有的特点（）。A加工中无机械应力和损伤B通过离子撞击工件表面将机械能转化成热能，使工件表面熔化而去除工件材料C工件表面层不产生热量，但有氧化现象D需要将工件接正电位（相对于离子源）
单选题离子束加工技术利用注入效应加工的是（）A离子束刻蚀B溅射镀膜C离子镀D离子注入