离子束加工包括( )。 A.离子束溅射去除加工B.离子束溅射镀膜C.离子束溅射注入D.离子束焊接
由于离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比电子束高，但表面粗糙度稍差。
简述电子束、离子束、激光束加工技术的工作原理和适用的加工范围？各具有哪些特点？
下列不属于离子束加工技术的是（）。A、离子束刻蚀B、离子束焊接C、离子注入技术D、离子束镀膜技术
离子束加工装置与电子束加工装置类似，不同的是用（）取代了（）。
离子束加工的物理基础是离子束投射到工件表面时所产生的（）、（）和（）。
电子束加工与离子束加工都必须在真空条件下进行加工。
判断题离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比电子束高，但表面粗糙度稍差。A对B错
判断题电子束加工与离子束加工都必须在真空条件下进行加工。A对B错
问答题电子束和离子束加工为什么必须在真空条件下进行？
填空题离子束加工的物理基础是离子束投射到工件表面时所产生的（）、（）和（）。
判断题离子束加工是利用离子束对材料进行成型或改性的加工方法。A对B错
填空题在离子束加工中，离子束投射到材料表面产生的两种效应是（）和（）。
填空题离子束加工的物理基础是离子束投射到工件表面时所产生的（）效应、（）效应和（）效应。
填空题离子束加工装置与电子束加工装置类似，不同的是用（）取代了（）。
问答题电子束加工和离子束加工在原理上和应用范围上有何异同？
问答题电子束加工、离子束加工和热作用各自的工作原理和应用范围如何？各有什么优缺点？
判断题由于离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比离子束高，但表年粗糙度稍差。A对B错
判断题离子束加工（如溅射、镀膜）是利用离子束的热效应来实现工件加工的。A对B错
问答题电子束加工、离子束加工和激光加工各自的工作原理和应用范围如何？各有什么优缺点？
单选题离子束加工技术利用注入效应加工的是（）A离子束刻蚀B溅射镀膜C离子镀D离子注入