微细加工的分为哪几类?() A.切削加工B.磨料加工C.特种加工D.复合加工
微尺度加工通常是指零件尺寸很小,立足于微细加工方法和纳米加工技术,比如()。 A、光刻B、电子束C、离子束加工D、激光束加工
微细机械加工的关键技术有哪些?() A.微系统建模技术B.微细加工技术C.微型机械组装和封装技术D.自组织成型工艺
（）是所有特种加工方法中最精密、最微细的加工方法，是当代毫微米加工（纳米加工）技术的基础。
微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。A、干法刻蚀、湿法刻蚀B、离子束刻蚀、激光刻蚀C、溅射加工、直写加工D、以上都可以
微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
微型机械的特点有哪些？微细加工与一般尺寸加工是不同点在哪几个方面？
激光光斑的大小可以聚焦到（），可用于精密微细加工。
单选题微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。Aa.离子束刻蚀、激光刻蚀Bb.干法刻蚀、湿法刻蚀Cc.溅射加工、直写加工
判断题电火花成型加工适宜加工低刚度工件及微细加工。A对B错
多选题下面的哪些工艺手段可以解决常规加工手段无法解决的工艺难题。（）A大面积镜面加工B小径长孔C切断加工D微细加工E螺纹加工
单选题以下加工方法中，属于复合加工的是（）A离子镀B镜面加工C微细加工D电解磨削
判断题在微细加工时用误差尺寸的绝对值来表示加工精度。（）A对B错
单选题下面的说法中，不属于离子束加工特点的是（）A目前特种加工中最精密、最微细的加工B离子撞击工件表面，将机械能转换成热能，使工件表面融化、气化去除材料C加工在高真空中进行，污染少，特别适于易氧化金属加工D靠离子轰击材料表面原子进行加工，加工应力和变形极小
填空题微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
填空题微细加工技术是指制造（）零件的精密加工技术。
填空题精密加工的范畴包括微细加工、（）和精整加工三个领域。
填空题（）加工是目前特种加工工艺方法中最精密、最微细的加工方法。
单选题为了提高电火花加工速度，可以增加单个脉冲能量WM，这种方法适用于（）A精加工B粗加工C镜面加工D微细加工