问答题简述什么是硅热氧化以及氧化的工艺目的、氧化方式及其化学反应式。

问答题
简述什么是硅热氧化以及氧化的工艺目的、氧化方式及其化学反应式。

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热氧化安定性

描述热氧化过程。

当热氧化的最初阶段,()为限制反应速率的主要原因。A、温度B、硅-二氧化硅界面处的化学反应C、氧的扩散速率D、压力

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