单选题ICP仪炬管的外管进（），中管进（），内管进（）。A等离子气，冷却气，载气B冷却气，载气，等离子气C冷却气，等离子气，载气
单选题
ICP仪炬管的外管进（），中管进（），内管进（）。
A
等离子气，冷却气，载气
B
冷却气，载气，等离子气
C
冷却气，等离子气，载气
参考解析
解析：
暂无解析
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