如何利用CVD制备金属间化合物薄膜?

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利用克莱森(Claisen)缩合反应,可制备()。 A、开链β-酮酸酯B、环状β-酮酸酯C、α,β-不饱和化合物D、甲基酮类化合物

()是通过把被蒸物体加热,利用被蒸物在高温时的饱和蒸汽压来进行薄膜沉积的。A、蒸镀B、溅射C、离子注入D、CVD

a-Si:H以及合金材料,用()、热CVD、光CVD等气相生长法可以制造薄膜。

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金属间化合物

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